Modellprädiktive Regelung für den Wafer-Transport in Dünnfilmbeschichtungsanlagen unter Verwendung kombinatorischer Optimierung

Im Projekt wird eine Anlagensteuerung für Dünnfilm-Beschichtungsanlagen entwickelt. Es wird ein Algorithmus entwickelt, der mit Hilfe Modellprädiktiver Regelung Fertigungsschritte in eine optimale Reihenfolge bringt, um Anlagenstillstände zu vermeiden und den Durchsatz der Anlage zu maximieren.

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