Ein offener Silizium-Mikrokondensator ermöglicht die kapazitive Gasdichtemessung mit höherer Empfindlichkeit und kleinerer Nichtlinearität als etablierte Schwingquarzsensoren und verspricht gute Temperatur- und Langzeitstabilität für den Einsatz in der Isoliergasüberwachung von HS-Schaltanlagen.
Ein offener Silizium-Mikrokondensator ermöglicht die kapazitive Gasdichtemessung mit höherer Empfindlichkeit und kleinerer Nichtlinearität als etablierte Schwingquarzsensoren und verspricht gute Temperatur- und Langzeitstabilität für den Einsatz in der Isoliergasüberwachung von HS-Schaltanlagen.